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光刻机助力中芯国际产业链产能快速扩张 - Moomoo

工艺节点主流为0.35μm、0.25μm、0.18μm、90nm、65nm、40nm、28nm、20nm、16/14nm、10nm、7nm 等。紫外光源采用汞灯，从g-line 到l-line，波长缩小至365nm ...

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