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ASML，不仅仅是光刻机巨头 - 36氪企服点评

为了在晶圆上刻下线宽越来越小的电路，ASML在过去几十年的发展里一直在挑战瑞利判据的极限——降低入射光源的波长，提高数值孔径。这也推动他们从g-line ...

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