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低驅動電壓雙空乏區致電-吸收光調制器 - ResearchGate

微影成像的原理是利用曝光機( G-line : 436nm 的紫外光波長)及光. 罩，將元件圖案經由光學成像的原理轉換到試片上，其步驟如下: <a>掀離液( Lift-off resist LOR )塗佈 ...

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