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润湿液在IC先进微影制程所扮演的角色 - 百度文库

... 隨著積體電路日益發展，曝光的波長也由g-line，I-line，KrF，ArF和浸潤式的ArF， ... 減少顯影後缺陷(defect)及改善光阻表面的LER (Line Edge Roughness)的挑戰。

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