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光刻机助力中芯国际产业链产能快速扩张
采用汞灯,从g-line 到l-line,波长缩小至365nm,完成0.35 µm 以上工艺;深紫外(DUV)光源采用准分子激光,. KrF 对应波长248nm,可完成工艺 ...
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