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第一章、簡介

G -line(波長436 nm)及汞氙燈I-line(波長365 nm)的0.35 ~ 0.5 微. 米製程技術，進展到目前的利用氟化氪(KrF)準分子雷射(波長248 nm). 及氟化氬(ArF)準分子雷射(波長193 ...

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