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ASML - 從高壓汞燈到EUV極紫外光☄️ - Facebook

我們最早使用的光源是高壓汞燈，可產生436nm (g-line)、365nm... ... line)、365nm (i-line)波長的紫外光。 ... F)的同時，由於雷射光光源的幾大特性：波長單一（一

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