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KrF、ArF、ArFi、EUV六代光刻机，中国处于什么水平？ - 维科号

g 线、i线、KrF、ArF、ArFi、EUV六代光刻机，中国处于什么水平？ ... 而I线（I－line）使用的是365nm波长的光源，这两种光刻机，也叫做紫外光刻机。

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