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微影技術,光罩,曝光機,Critical Dimension,G-line,I-line ... - CTIMES

但是隨著線路的CD越來越小，我們就必須需要更短波長光源的曝光機，因此曝光機的波長從汞燈的G-line(0.436微米)、I-line(0.365微米)到準分子雷射的KrF(0.248微米)以及 ...

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