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G-line光阻的評估與測試__臺灣博碩士論文知識加值系統

另外，由於微影成像已達到次微米的線幅，所需的光源也由g-line(波長436nm)/i-line(波長365nm)逐漸轉變成Deep UV(KrF,波長248nm；ArF,波長193nm)。

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