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何謂E84及E84運行機制 - 汯沅科技
e84控制器的目的,是為了協助半導體工廠,解決大尺寸晶圓遷移的問題。 ... 的使用自動化材料處理系統(AMHS) ,來轉移重量不斷增加的晶圓載體,包括FOUP 和開放式盒子。
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