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新電子 08月號/2021 第425期 - 第 37 頁 - Google 圖書結果

由於AMR整體價格約莫在台幣300~800 萬,現階段能夠負擔此成本的產業不多,以半導體產業較具代表性。先假設搬運FOUP 晶圓傳送盒是AMR的主要應用,尺寸為10 吋晶圓。

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