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前開式晶圓傳送盒 - 中文百科全書

前開式晶圓傳送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。這是半導體製程中被使用來保護、運送、並儲存晶圓的一種容器，其內部可以容納25片的300mm晶圓，而其主要的組成元件 ...

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