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槽距： m FOUP 前開式晶圓傳送盒/ 晶圓傳輸盒，可保護、運送、並儲存300mm晶圓，在運輸傳載及儲存時提供安全防護。. 有效降低晶圓受到微塵汙染的風險，避免晶圓受靜電中文 ...

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