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突破10奈米製程物理極限電晶體結構/材料加速變革 - 新電子
由上述比較可了解,如要進行線寬微縮,閘極後製製程較閘極優先會較為容易,前文 ... SOI FinFET技術供應商考量立體電晶體結構須嚴格控制通道雜質摻雜 ...
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