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finfet gaa比較
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浅谈半导体工艺:Bulk Si,SOI,FinFET,GAA等工艺(转)
至于二维原先的有些结构改进同时也可以应用到所谓的三维结构,三维工艺其加工会比较繁琐,因此还需要不断提升加工工艺,才能到达工业化的制程。 工艺, 在 ...
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