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遙望5nm：FinFET大熱接班人水平GAA初探- 壹讀

到5nm節點以後,晶片產品的檢驗和測量技術也將遇到挑戰."將來發展到垂直型結構,很多原來比較容易檢測到的缺陷由於工藝原因會被埋藏起來,而器件結構形狀上的 ...

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