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閘極蝕刻與鰭式結構對於場效電晶體特性影響與 ... - 國立臺灣大學

除了改進閘極氧化層外，亦可透過3D 結構，如鰭式場效電晶體(FinFET)。 本論文第一部分，首先探討主流的矽 ... 圖3.11 加入氧化層前後蕭特基與金氧半二極體電流之比較.

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