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利用內部側壁絕緣層製程改善及優化環繞式閘極電晶體特性

... 並比較具內部側壁絕緣層及不具內部側壁絕緣層的結構其電流特性差異，優劣等。 ... To overcome the drawback of GAA MOSFETs compared to FinFET: the increase of ...

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