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原子層沉積之二氧化鈴感測薄膜於

關鍵字:二氧化鉛、感測薄膜、射頻濺鍍、原子層沉積、電漿、尿素感測器 ... ficient (1 mV/h) and small hysteresis (5mV), which could be a potential candidate for ...

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