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aps.69.20200653.pdf - 物理学报
碱刻蚀液敏感, 薄膜图形化困难; 氧化锡薄膜不仅无毒、无污染、价格低廉, 还具有良好的电学性能和化学稳. 定性, 具有巨大的发展潜力. 目前, 薄膜的制备主要依赖于真空 ...
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