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fab無塵室
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http://www.sinotech.org.tw/eerc-ctr/news/asip2016/02.files/article/ra03.pdf
綠色半導體晶圓廠創新型精確環境設計與解決無塵室污染物之移 ...
對於AMC 管理工廠無塵室(Fab)已有多年的經. 驗,如AMC 高污染機台的維護保養(PM)管理及區. 域污染源濃度基準值的建立都有一套完善的標準. 流程(SOP)。
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