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fab無塵室
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sub fab是什麼
Sub-Fab指半導體業附屬製造無塵室,在半導體製程設備裡,常會用到Dry pump製造真空環境。如蝕刻技術,蝕刻設備主要分濕蝕刻(液體)與乾蝕刻(氣體),為了增加蝕.
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