無塵室 系統,製造符合規格之潔淨空氣,連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端,無塵室內的製造區(FAB)。一般而言,製造潔淨空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經過無塵室 ...
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