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世界先進積體電路股份有限公司晶圓二廠 - 新竹市環境保護局

4.3.2 運作場所毒性氣體氣甁櫃供應位置配置圖1F(1~5%F2+4.9%Kr+93.4%Ne)：. 2A/2B 1F 氟氣氣甁櫃供應位置. 圖示. 化學品. 最大容量UN. NO.

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