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類神經網路於預測半導體機台異常值之應用

... 其中只要有些許的關鍵值偏差，就有可能造成製程偏離(Excursion)，使得辛苦生產的晶圓良率降低，甚至報廢。 所以，半導體廠商很早就注意到機台異常監控的重要， ...

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