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以統計模式建立半導體製造之異常偵測與分類架構

半導體製造業包括複雜而繁瑣的製程，同時製程中存在大量而彼此非獨立的量測參數，因此，製程管制與監控被應用於半導體廠以確保良率及在大量資本投資下的獲利狀況。

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