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熱蒸鍍製程 - 應用物理學系- 高雄大學

... evaporation）。 二.所需器材:機械幫浦(mechanical pump ). 膜厚偵測儀(thickness monitor). 真空壓力計. 真空腔及蒸鍍系統. 蒸鍍材料：銅. 電阻器：鎢舟. 三.實驗原理: A ...

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