熱蒸鍍(ThermalEvaporation)是用於沉積薄膜的一種技術。源材料在真空腔中被電子束或者電阻絲加熱蒸發成氣態,氣態的源材料會直接粘附在置於原材料上側的襯底上,而不會與 ...
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