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金屬蒸鍍沈積(Metal Evaporation for Backside Metallization)

晶圓薄化(BGBM) 的背面金屬化製程中(Backside Metallization, BM)，金屬蒸鍍沈積(Metal Evaporation)，在高真空的環境，利用電子束加熱欲蒸鍍之靶材， ...

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