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追光之旅: 你所不知道的同步輻射 - Google 圖書結果

當業界開始將希望寄託在EUV,積極發展下一代微影技術,希望透過高能量、短波長的光源,將光罩上的電路圖案轉印到晶圓的光阻劑塗層,卻發現高亮度的EUV光源取得十分不易。

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