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半導體光阻材料技術 - 材料世界網

目前，EUV光阻材料仍以化學增幅型光阻為主。相較於KrF、ArF光阻曝光之光子吸收以光酸產生劑分子為主，EUV曝光機制不同，光子可被光 ...

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