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euv光阻劑台灣
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超級光阻劑可望在10nm節點實現EUV微影 - SEMI.org
新型的光阻劑是專為需要兼具靈敏度與機械穩定度的EUV微影而設計,但研究人員們也希望新的光阻劑能改善線邊緣粗糙度,這一點在10nm及其以下先進製程變得越來越重要。 「高 ...
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