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先进制程的“3岔口” - 格隆汇

以ASML今年推出的NXE：3600D为例，其价格高达1.4～1.5亿美元，每小时可处理160片12英寸晶圆，4nm制程上，EUV光罩大约在14层之内，而3nm制程将达到25 ...

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