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半導體EUV的競爭戰火燒到周邊設備 - 日經中文網

要將如此細的電路轉印到矽晶圓上，EUV光刻機是不可或缺的。 ... ASML在全球形成壟斷的極紫外線(EUV)光刻設備的價格據稱超過200億日元 ...

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