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EUV pellicle專利佈局分析，卡位EUV供應鏈- 世博科技顧問

一般來說，EUV pellicle在曝光數千至一萬片晶圓之後需要被更換一次，而每片EUV pellicle售價將近10萬美金，未來將是一個不容小覷的市場。目前已知在發展 ...

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