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752801.pdf - 國立交通大學機構典藏

目前應用於半導體相關產業的蝕刻技術，主要可分為濕蝕刻（wet etching）與. 乾蝕刻（dry etching）兩種。蝕刻製程名詞相關介紹如下: (1). 蝕刻速率(Etch Rate): 將被蝕刻 ...

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