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[爆卦]電漿蝕刻是什麼？優點缺點精華區懶人包

雖然這篇電漿蝕刻鄉民發文沒有被收入到精華區：在電漿蝕刻這個話題中，我們另外找到其它相關的精選爆讚文章

在 電漿蝕刻產品中有2篇Facebook貼文，粉絲數超過2萬的網紅金屬工業研究發展中心，也在其Facebook貼文中提到， 【石墨烯鍍層之製造方法】 #中心好技術 本技術提供一種不同以往CVD石墨烯製程，利用PVD複合方式不受現行專利限制，成功建立一種創新石墨烯材料製程。以物理蒸鍍(PVD)製程，以純石墨靶材將碳原子濺射於基板上，在配合離子源能量適當控制，在≦250℃製程溫度下，能長出數奈米厚度之薄石墨層。此薄石墨...

「電漿蝕刻」的推薦目錄
  • 金屬工業研究發展中心

    電漿蝕刻 在 金屬工業研究發展中心 Facebook 的最佳貼文

    2017-05-12 21:00:00
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    【石墨烯鍍層之製造方法】
    #中心好技術
    本技術提供一種不同以往CVD石墨烯製程，利用PVD複合方式不受現行專利限制，成功建立一種創新石墨烯材料製程。以物理蒸鍍(PVD)製程，以純石墨靶材將碳原子濺射於基板上，在配合離子源能量適當控制，在≦250℃製程溫度下，能長出數奈米厚度之薄石墨層。此薄石墨層後繼以電漿蝕刻方式，讓材料漸次薄化而達成石墨烯狀結構。以PVD複合方法 ≦250℃低溫製程，基板無耐溫限制、不用蝕刻屬環保製程，製備時間短具生產優勢。可衍生應用於LED散熱、積體電路、複合材料、氣體感測、透明導電電極、超高電容、鋰電池、太陽光電產業等方面皆有相當之應用潛力等綠色關聯產業產品之創新應用。

  • 國立陽明交通大學電子工程學系及電子研究所

    電漿蝕刻 在 國立陽明交通大學電子工程學系及電子研究所 Facebook 的最讚貼文

    2012-10-11 09:57:33
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    「先進電漿蝕刻技術」,課程將介紹最新技術-新型蝕刻技術(中性粒子束)及其發展現況 , 講師為長庚大學電子系黃啟賢博士，曾先後於奇美光電、日本東北大學服務，從事先進電漿製程與半導體應用之研究，為此領域專業技術與研究人士, 101年10月27日(六)開課,享政府補助,歡迎聯絡報名!

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