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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

蝕刻(etching). 8.擴散及植入(diffusion and drive in). 9.離子佈植(ion implantation). 10.熱製程(thermal process). ➢ 積體電路及液晶顯示器微製程.

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