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石英蝕刻微結構之非等向性研究

石英晶體 ； 微結構 ； 非等向性蝕刻 ； 濕蝕刻 ； wet etch ； quartz microstructure ... etching)的技術製程，也隨著需求尺寸的縮小而逐漸受到重視與普及。

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