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蝕刻

蝕刻製程是指導體蝕刻、介電質蝕刻或多晶矽蝕刻，用以指明從晶圓上移除的薄膜類型。例如，當氧化層蝕刻後留下「氧化絕緣體」來區隔元件時會用到介電質蝕刻；多晶矽蝕刻是用 ...

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