ETCH 製程 ,因應製程需求,供應含氟氣體SF6(如下管路配置圖),M02 ETCH 蝕刻製程. 共有9 台蝕刻機台,104 年已申請設置3 台局部尾氣破壞去除設備,於105 年度完成設.
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