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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊
化矽SiC)與切削油混合之切削劑作為冷卻用途,用以帶走切割過程產生的熱, ... (Epi-Wafer),生產晶圓及磊晶圓幾乎都集中在矽晶圓棒的中間部分。矽晶棒所.
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