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シリコンウェーハの製造方法［特殊加工工程］ - SUMCO

用途 に応じて行われる、ウェーハの特殊加工 ... アニール・ウェーハ（Annealed Wafer） ... エピタキシャル・ウェーハ（EW：Epitaxial Wafer）.

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