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第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性

(wafer)產出，此為半導體之上游工. 業。此類矽晶片再經過研磨加工及多. 次磊晶爐(Epitaxial reactor)則可製成. 研磨晶圓成長成為磊晶晶圓，其用途.

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