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磊晶應用自動光學檢測設備 - Aurotek 和椿科技

Epi Series 檢測系統主要針對Epi 後表面缺陷檢測所設計，爲求于LED 前段制程之AOI 功能完整性，和椿率先推出磊晶缺陷檢測專用機，爲業界之首 ... 最大可摆放6 吋Wafer.

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