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絕緣層上矽分析及應用Silicon on Insulator Analysis and ...

一層磊晶（Epitaxial）矽層。 ... 如圖2 所示，一開始時先準備兩塊矽晶圓：元件晶圓（Device Wafer）和操作晶圓（Handle ... 一個則用來提供矽薄膜層（Wafer A）。

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