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磊晶目的 - 工商筆記本

所謂的磊晶矽晶圓片(Epitaxial Wafer)是指在一拋光晶圓片(在此稱為基板，英文為Substrate)所長出的一層單結晶薄膜而這層薄膜會在某一個平面之上進行規則排列的 .

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