拋光矽晶圓(Polished Wafer) 高純度半導體等及之拋光矽晶圓。 · 磊晶矽晶圓(Epi Wafer) 即在高純度半導體等級之拋光矽晶圓上,運用化學沈積法生成不同厚度的高純度磊晶。
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