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晶圓薄膜epi-Si 晶向

第四章第一部份. 晶圓製造. 結晶性: 無晶型（amorphous）- a:Si - solar cell. 複晶型（polycrystalline）- poly-Si –電極. 單晶（single crystal) : 晶圓. 薄膜epi-Si.

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